株式会社日立ハイテクサイエンス
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ジャンル |
半導体・エレクトロニクス, 無機材料
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モード |
AFM
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測定領域 |
400×400μm
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ステーション |
ナノピクス
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装置 |
ナノピクス
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| 解説 |
Fig.1 フィルター境目の段差解析結果 |
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ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。走査型プローブ
顕微鏡としては類を見ミない800×800μmまでの広域観察が可能なため、RGBのLCDカラーフィルターのような形状
も1画面で捉え、段差などの解析を行うことができます。
この図は解析プログラムでフィルター境目の段差を評価した事例です。 |
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