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AFMによるナノスケールの品質管理が可能に
従来からSPMは半導体や金属、セラミック、有機高分子試料のnmレベルの粗さ管理ツールとして利用されてきましたが、機種の違いや針先の形状・磨耗等に起因する測定データの誤差が課題となっており、測定値の客観的な評価方法が求められていました。2007年、AFM探針検定を含む微小領域の表面粗さ評価方法がJIS規格化されたことにより、ナノスケールの品質管理に欠かせない、より高精度で客観的な粗さ評価ができるようになりました。
SPMステーションNanoNaviRealに標準搭載された粗さ計測機能「NanoNavi JS-1683」では、情報処理機器用ディスプレイの透明電極薄膜、カメラなど光学部品のコーティング、精密機械部品、工具用ハードコーティングなど、nm（ナノメートル）レベルの表面粗さを高精度に評価します。 |
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接触式粗さ計、光学式粗さ計、SPMによる粗さ評価の比較と、それらの課題について説明します。
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JIS規格の誕生と、その適用範囲などの概要を説明します。
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日立ハイテクサイエンスが開発した探針検定を含む粗さ計測機能を紹介します。
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透明電極膜（ITO）の粗さ評価事例を紹介します。
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表面粗さJIS規格に関連した文献を紹介します。
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