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走査型プローブ顕微鏡（SPM）

全7製品

原子間力顕微鏡（AFM）から発展した走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、いまや表面形状の観察にとどまらず、摩擦力や磁気力といった表面物性の測定やナノオーダーでの加工まで、その用途を広げています。
日立ハイテクサイエンスでは、幅広いニーズにお応えできる製品を取り揃えております。装置写真または製品名をクリックすると詳細をご覧いただけます。

	ステーション（コントローラー）		ユニット（測定部）
	測定モードオプション		部品オプション

【ステーション（コントローラー）】


	NanoNaviReal
	プローブステーション
	多様化する最新SPM技術に対応するため、操作性や計測機能を大幅に向上させた、ハイエンド仕様の次世代コントロールステーションです。

NanoNaviReal　プローブステーション


	NanoNaviReal s
	プローブステーション
	最新のSPM技術に対応する、Nanocute専用の次世代小型コントロールステーションです。

プローブステーション　NanoNaviReal s

【ユニット（測定部）】

	Nanocute SS
	汎用小型ユニット
	手軽な操作を実現する高分解能センサー内蔵型レバーを搭載した汎用小型SPM

AFM/SPM 汎用小型ユニット Nanocute SS

	Nanocute OP
	汎用小型ユニット
	多機能測定に対応した光てこ方式の高分解能小型SPM

AFM/SPM 汎用小型ユニット Nanocute OP

	S-image
	多機能型ユニット
	大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができる小型汎用多機能型ユニットです。低コヒーレント光学系や熱源抑制構造の採用等により、更なる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現しています。

多機能型ユニット S-image （AFM/MFM/STM/KFMなど）

	E-sweep
	環境制御型ユニット
	大気中、真空中、溶液中など、様々な測定環境に対応した環境制御型プローブ顕微鏡（SPM）です。従来の様々な温度環境における物質表面の形状や物性の観察に加え、連続的に温度が変化する過程における表面物性の変化を定量的に評価する表面転移温度モニター機能を使用することができます。

AFM/SPM 環境制御型ユニット E-sweep


	AFM5400L
	高精度大型プローブ顕微鏡ユニット
	SPMの高分解能測定能力、白色干渉縞測定器の高スループット能力、マイクロスコープの簡易性、それぞれの機器の特徴である基本性能をそのままに、従来の観察機器にない広範囲から狭範囲までのシームレス観察を実現させた全自動多点測定が可能な大型試料対応ユニットです。

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【測定モードオプション】

<基本モード>

	走査型トンネル顕微鏡(STM)		AFM-SIS
	DFM-SIS		Active Q （Q値制御：Q-control）

<機械的物性モード>

	横振動摩擦力顕微鏡(LM-FFM)		マイクロ粘弾性顕微鏡(VE-AFM)
	吸着力顕微鏡（Adhesion）		ナノサーマル顕微鏡
	ナノインデンター		フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア

<電磁気物性モード>

	Nano/Pico Current AFM		広がり抵抗顕微鏡(SSRM)
	非線形誘電率顕微鏡(SNDM)		圧電応答顕微鏡(PRM)
	表面電位顕微鏡(KFM)

【部品オプション】

	外部磁場印加		大気加熱試料台
	クローズドループスキャナ（CL-110S）		E-sweep用クローズドループスキャナ
	密封型環境制御セル		嵩上げブロック対応兼用顕微鏡
	角試料用嵩上げブロック（50mm）		加熱兼用嵩上げブロック（10mm）
	ネジ式シャーレセル		液温制御モジュール
	シグナルアクセスモジュール		外部バイアス導入ケーブル

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