走査型プローブ顕微鏡（SPM）
大型ステージユニット L-traceⅡ

品名	大型ステージユニット

型式

概要	全自動多点測定が可能な6インチ（8インチ）まで対応可能な大型試料対応ユニットです。更にアキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用により、ナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。