半導体製造支援ソフトウェア（MDP）製品情報

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半導体製造支援ソフトウェア（MDP）

全2製品

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	SmartMRC
	マスクルールチェッカー
	マスクルールチェック専用ツールとしてマスク描画データに対してマスク製造の事前チェックを行うことによりマスク製造欠陥、マスク検査擬似欠陥を抑制しマスクコスト増大抑制、納期短期化を支援し、マスク歩留まり向上に貢献します。

	OASISデータハンドリングツール
	オアシスデータハンドリングツール
	LSIの高機能化・高集積化、特に微細化に伴うOPC処理により、GDSフォーマットの設計データおよびマスクデータは増大の一途をたどっており、データハンドリング時間、データストレージ量の増大、データ転送時間などの問題が深刻になってきています。本ツールでは、GDSデータのOASIS移行および移行後のデータチェックを行なうことができ、データ量増大に伴う問題を解決します。