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| 株式会社日立ハイテクサイエンスは、製造業の開発・生産・検査などのキープロセスを支援するソリューション・カンパニーです。
分析・計測・観察の領域において、お客様のニーズに合ったソリューションを提供しています。 |
| 熱分析 |
EXSTARシリーズは、オートサンプラ（DSC/TGA/DTA）各種冷却ユニット等を組み合わせられる拡張性のあるシステムです。
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| 走査型プローブ顕微鏡（SPM）
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環境制御装置からハイアスペクト対応装置まで幅広い装置を取りそろえております。
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| 集束イオンビーム（FIB）/走査イオン顕微鏡(SIM) |
分解能4nmを実現した高分解能集束イオンビーム装置。SEMとの複合タイプでは、1台の装置での高品位TEM試料作製を可能にしました。
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| ICP発光分光/質量分析 |
シーケンシャルタイプ、マルチタイプのICP-OESとICP-MSの多彩なラインナップ。高感度測定と使いやすさの両立で、さまざまな元素分析をサポートします。
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| デバイス観察/フォトマスクリペア |
FIBフォトマスク欠陥修正装置、SPM型フォトマスク欠陥修正装置、液晶用フォトマスク欠陥修正装置など。
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| 蛍光X線分析 |
液化窒素レス、高精度測定、簡単操作など、さまざまなニーズを満たすWEEE&RoHS、ELV対応装置や、土壌中の有害物質測定の専用装置をラインナップ。
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| 膜厚測定 |
ベーシックモデルからデュアル検出器搭載のハイグレードモデルまで、幅広いニーズに対応するSFT9000シリーズ。
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| 半導体製造支援ソフトウェア |
先端半導体用フォトマスクのデータハンドリング作業を効率化し、時間・コスト削減を実現する各種ソフトウェアをラインナップ。
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| X線検出器 |
蛍光Ｘ線用、電子顕微鏡用の液化窒素レス・高計数率・高分解能対応のシリコンマルチカソード検出器、およびスペクトロメーター。
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